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賽默飛世爾定制版SEM主動(dòng)隔振平臺(tái)

簡(jiǎn)要描述:賽默飛世爾定制版SEM主動(dòng)隔振平臺(tái),SEM-Base-LP是我們的標(biāo)準(zhǔn)SEM-Base主動(dòng)壓電振動(dòng)消除平臺(tái)的定制、低剖面版本。SEM-Base-LP更易于安裝,提供*越的性能,并且符合人體工程學(xué)優(yōu)化。

  • 產(chǎn)品型號(hào):SEM Base LP
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2025-05-30
  • 訪  問  量:966
詳細(xì)介紹

SEM主動(dòng)隔振平臺(tái)SEM Base LP

賽默飛世爾定制版SEM主動(dòng)隔振平臺(tái)SEM Base LP

SEM-Base-LP是我們的標(biāo)準(zhǔn)SEM-Base主動(dòng)壓電振動(dòng)消除平臺(tái)的定制、低剖面版本。SEM-Base-LP更易于安裝,提供*越的性能,并且符合人體工程學(xué)優(yōu)化。緊湊的設(shè)計(jì)便于安裝,無(wú)需使用掃描電子顯微鏡(SEM)的內(nèi)置調(diào)平腳以外的任何東西來(lái)提升掃描電子顯微鏡(SEM)柱。而且,一旦安裝,掃描電鏡的高度以上的地板不會(huì)增加。SEM-Base-LP采用了我們*特的STACIS壓電技術(shù),具有與我們的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SEM-Base-VI相同的振動(dòng)消除性能。SEM-Base-LP包括腳輪,專門設(shè)計(jì)用于與許多賽默飛世爾科技(前身為FEI)工具集成。

賽默飛世爾定制版SEM主動(dòng)隔振平臺(tái) 

 

賽默飛世爾定制版SEM主動(dòng)隔振平臺(tái) 

 

賽默飛世爾定制版SEM主動(dòng)隔振平臺(tái) 

Example of how SEM-Base LP integrates with the bottom frame of the tool

 

兼容的Thermo Fisher產(chǎn)品型號(hào)

SEM Base LP與許多Thermo Fisher產(chǎn)品型號(hào)兼容,包括

Apreo

Aquilos

Helios Small DualBeam

Nova NanoSEM x50

Quattro S

Scios

Teneo

Verios G4

Verios 460, 460L

Versa 3D

 

如果您的SEM/FIB未列出,請(qǐng)聯(lián)系我們檢查兼容性。

 

SEM主動(dòng)隔振平臺(tái)SEM Base LP優(yōu)勢(shì)

硬安裝技術(shù)–SEM底座與內(nèi)部SEM振動(dòng)控制系統(tǒng)兼容,并積極緩解0.6 Hz的低頻地板振動(dòng)。

 

主動(dòng)慣性振動(dòng)消除-掃描電鏡基地使用高靈敏度,低頻慣性速度傳感器,以實(shí)現(xiàn)高水平的振動(dòng)衰減,即使在安靜的地板。

 

采用壓電技術(shù)的串行設(shè)計(jì)–*特的串行設(shè)計(jì)和專有的高壓壓電技術(shù)可實(shí)現(xiàn)從0.6 Hz到150 Hz的寬有源帶寬,以及*與倫比的慣性主動(dòng)消振,從2 Hz開始可降低90%。

 

性能

賽默飛世爾定制版SEM主動(dòng)隔振平臺(tái) 

1800 lbs (818 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C (500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)

規(guī)格

性能

主動(dòng)自由度

6

主動(dòng)帶寬

0.6 Hz - 100 Hz

被動(dòng)固有頻率

標(biāo)稱值為12 Hz

有效的主動(dòng)共振頻率

0.5 Hz

1 Hz時(shí)的隔振

40% - 70%

2 Hz時(shí)的隔振

90%

≥3 Hz時(shí)的隔振

90 - 98%

內(nèi)部噪音

<0.1 nm RMSd>

工作負(fù)載范圍

標(biāo)準(zhǔn)承重能力:900 - 2,500磅(408 - 1134千克)

高承重能力:2,500 - 3,200磅(1134 - 1452千克)

磁場(chǎng)發(fā)射

4英寸(102毫米)處距離平臺(tái)

<0.02 μG broadband RMSd>

 

設(shè)計(jì)、尺寸、環(huán)境和效用要求

環(huán)境和安全

符合CE和RoHS標(biāo)準(zhǔn)

主動(dòng)隔振元件

最小承重能力為3300磅(1500千克)的壓電致動(dòng)器接收來(lái)自高壓放大器的信號(hào),其輸出高達(dá)800 VDC。垂直執(zhí)行器支撐隔振的有效載荷

被動(dòng)隔振元件

單個(gè)硬彈性體(無(wú)需壓縮空氣源)

振動(dòng)傳感器元件

向下的地震檢波器型慣性傳感器,用于測(cè)量隔振器下方的地面振動(dòng),并提供與振動(dòng)運(yùn)動(dòng)速度成正比的電壓

主動(dòng)反饋控制回路

在支撐隔振表面的彈簧下方測(cè)量、處理和支撐隔離面

尺寸(寬 x 深)

35.25 x 44.25英寸、895 x 1124毫米

高度

標(biāo)稱6.3英寸(160毫米),SEM-Base關(guān)閉時(shí)不會(huì)改變

工作溫度

50° - 90°F

10° - 32°C

儲(chǔ)存溫度

-40° - 130°F

-40° - 55°C

濕度

80% at 20o C, Max dewpoint: 18o C

系統(tǒng)電源要求

100、120、230、240 VAC、50/60 Hz AC;<600 W,符合CE標(biāo)準(zhǔn)

地面位移

<800 μin. (20 μm) below 10 Hzd>

 

內(nèi)置控制器規(guī)格

處理器

150/75 MHz雙核

采樣率

10 kHz

模擬輸出

16個(gè)通道

模擬輸入

16個(gè)通道

狀態(tài)燈

單個(gè)LED

前面板端口

1個(gè)串行USB2.0

1個(gè)串行Micro-USB

1個(gè)以太網(wǎng)RJ-45

2個(gè)BNC

用戶界面

前面板液晶顯示屏

超級(jí)終端上的字符菜單

適用于Microsoft Windows的擴(kuò)展GUI

嵌入式以太網(wǎng)GUI

 


 


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