TMC主動(dòng)空氣消振器
TMC主動(dòng)空氣消振器,Electro-Damp®是第一款專門用于提高半導(dǎo)體制造應(yīng)用中的吞吐量、分辨率和產(chǎn)量的商用主動(dòng)隔振系統(tǒng)。Electro-Damp II是對(duì)原始系統(tǒng)的*全重新設(shè)計(jì),增加了模塊化、數(shù)字控制、前饋、高力/高間隙執(zhí)行器以及多個(gè)專門設(shè)計(jì)用于OEM應(yīng)用(如顯微光刻、檢測(cè)和計(jì)量工具)的數(shù)字用戶界面。
更新時(shí)間:2024-05-23
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
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